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                  廣州市鴻浩光電半導體有限公司

                  半導體光電設備

                  晶圓清洗機

                  晶圓清洗機

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                  廣州市鴻浩光電半導體有限公司

                  聯 系人:黃總

                  聯系電話:020-82886650

                  營業期限:

                  經營地址:廣州市增城區新塘鎮荔新十二路96號9幢102

                  主營產品:光電半導體 CVD設備 加熱帶系統 自動倉儲 ESD防靜電系統

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                  聯 系  人:黃總  

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                  聯系地址:廣州市增城區新塘鎮荔新十二路96號9幢102

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                  1111MicrosoftInternetExplorer402DocumentNotSpecified7.8 磅Normal0 晶圓制造工藝技術中清潔步驟和目的根據清潔方法的各種不同,清洗機械可分成兩種,分別是單片式和槽式。單片式清洗機是由好多個清潔內腔組成,再充分利用機械手臂將每一片晶圓送至每個內腔中開展單獨的噴淋式清潔,清潔成效比較好,防止了交叉破壞和前批次破壞后批次,但缺陷是清潔效率較低,成本費用偏高。槽式清洗機是將晶圓放到花籃中,再充分利用機械手臂逐個將其充分利用各種不同的化學試劑槽開展清潔,槽內裝配有酸堿等化學液,一次能夠同時清潔一個花籃或兩個花籃,該類清洗機清潔效率較高、成本費用較低,缺陷是清潔的晶圓之間會存有交叉破壞和前批次破壞后批次。槽式清洗機主要是由抗腐蝕機架、酸槽、水槽、干燥槽、操縱單元、排風系統單元及其氣體和液體管道單元等幾大部分組成。

                  公司介紹

                  包括“中國制造2025“、”工業4.0“為電子訊息帶來千載難逢的機遇。而其中的大數據 云計算、物聯網、智能電網、人工智能改變著我們的生活,生產自動化和半導體裝備正是支持整個電子發展的重要者。

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